IC測試另闢新徑:發揮PXI平台優勢

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IC測試是半導體生產的重要環節,只有通過嚴格的晶圓和成品測試,才能淘汰電性功能不佳的產品、保證其高質量。然而,隨著半導體裝置日趨複雜、產品週期縮短,IC測試的成本也不斷提高。如何持續改善效能與降低成本、奉行半導體產業自發展之初就有的原則,是產品開發週期中不容忽視的一環。

傳統的IC測試方式

傳統上,大部分的RF與混合式訊號IC測試都是在生產環境中透過自動化測試設備(Automated Test Equipment;ATE)、或是在特性測試實驗室(Characterization Lab)中透過機架堆疊式箱型儀器而完成的。典型的機架堆疊式箱型儀器可提供高品質的實驗室等級量測結果,但是容量有限,不僅無法處理大量零件,測試時間也比ATE慢。

在特性測試實驗室使用ATE的做法也不算罕見,然而,使用大型主機 ATE執行特性測試時,就必須面對昂貴的資金成本、佔地空間、能耗需求等問題。因此,有能力在特性測試實驗室使用ATE的頂級IC製造廠幾乎是寥寥可數。

對大多數透過機架堆疊式箱型儀器進行IC特性測試、在生產環境中使用ATE的IC廠商而言,為實驗室資料與生產資料建立關聯作業又是一件極度耗時的工作。由於資料集來自完全不同的測試設備,資料關聯作業往往可能需要數週的時間,這點大幅影響了產品開發週期。

做法改良 IC測試精益求精

對身經百戰的測試經理來說,理想的解決方案是在特性測試實驗室中導入可充分擴充的單一ATE平台,再把相同的系統部署到生產線上。這樣不但能解決在IC特性測試階段執行大量樣本的問題,還能達成提供資料關聯的目的。

廠商仍需進行關聯作業,不過由於使用了相同的軟硬體,工作將會大幅簡化,進而節省作業時間並改善產品開發週期。這個概念看似單純,執行起來卻困難重重,一部分原因是它跨越了箱型儀器廠商與傳統ATE廠商的市場邊界。

就射頻IC(RFIC)製造廠而言,尤其是涉及RF功率放大器或前端模組等RF前端IC領域者,將傳統ATE應用在生產作業會帶來更多挑戰,主因就是瞬息萬變的RF標準,導致測試需求快速改變。在生產過程中實作諧波量測這類特性測試之後,使用傳統ATE的困難度就更高。因此,部分RFIC製造廠選擇建置專屬的IC生產測試系統,而大部分都會採用PXI架構。

截至目前為止,已經有超過 9,000組以上的PXI系統投入大量製造測試環境中,其中更有超過1,000組安裝到半導體產業的供應鏈,成為IC測試的主導儀器。由於各行各業廣泛採用PXI,在這龐大規模經濟的加持下,PXI可降低成本、提高效能,並坐擁強勁的經濟實力,相較於其他仰賴單一產業的測試平台,更能輕鬆度過不同的產業週期性波動。

針對半導體IC測試推出的NI平台架構方案

由於PXI平台已經成熟,各界導入速度也不斷加快,於是NI推出能滿足半導體生產測試環境營運需求的系統級產品–半導體測試系統(Semiconductor Test System;STS)。STS結合了PXI的開放效能與靈活彈性,以及半導體生產測試單元的需求,例如分類機與針測機整合、彈簧探針待測裝置(DUT)銜接以及系統等級的校準功能等。

TestStand是STS軟體的骨幹,這套立即可用的測試管理軟體能管理以LabVIEW或.NET環境撰寫的程式碼模組;而TestStand半導體模組 (TestStand Semiconductor Module)還提供其他的半導體產業專屬功能,例如針對DUT為主程式設計提供的接腳∕通道對應功能、可容許客制的操作介面、進階分類(Advanced Binning)、標準測試資料格式(STDF)資料報告功能,以及內建的多站點支援,也就是能迅速擴充針對單一站台操作而撰寫的測試程式,以支援多站點測試用途。

STS的擴充性絕佳,因此可以部署於特性測試實驗室中。無論是尺寸、成本或測試系統功能,STS對IC特性測試實驗室來說都是非常實用的選擇。它也能輕鬆銜接裝置分類機或針測機,針對大量DUT進行測試。由於所有的測試程序、轉接板、接線與儀控設備等軟硬體都是相同的,資料相關性作業就會大幅簡化,進而縮短產品的開發週期並加快上市時間。

STS是採用PXI架構的產品,PXI平台開放性、模組化特性所帶來的關鍵優勢之一,就是能善用最優異的現有商業技術,只要有最新的多核心微處理器或尖端PXI儀器問世,測試系統的效能就會持續改進。

維持靈活彈性 滿足營運需求

PXI技術具有出色的影響力與開放性,管理者可能會擔心測試系統版本能否嚴格控制的問題。幸好STS的設計能解決這些問題。客戶訂購特定組態的測試系統時,就能以完全相同的軟硬體複製出相同成品,確保全球任何生產部署環境都擁有一致的測試系統。對客戶來說,不僅能享有必要的彈性,一旦鎖定組態後,管理者還能完全掌握版本控制權,滿足營運的需求。

 

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參考資料:http://www.digitimes.com.tw/iot/article.asp?cat=130&id=0000511735_TZX6N3BT4P28P6491CA48

ENTEGRIS擴大整合台灣技術研發中心

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特殊材料領導供應商Entegris,日前位於台灣新竹與客戶共同慶祝其擴大整合台灣技術研發中心(Taiwan Technology Center;TTC)開幕茶會。 TTC成立於2013年,歷來都是一個關注半導體特殊化學品和CMP製程的研發應用中心。此次擴展包括將Entegris之前的亞洲應用開發實驗室(AADL),現為微污染控制(MC)實驗室遷入台灣技術研發中心現址。

Entegris此次實驗室的拓展,包括因應產能擴增上所需之實驗室腹地、Class 1000無塵室、全新的設備擴充,其中涵蓋新的CMP清潔和拋光設備以及更專業之檢測儀器,此外,更著重在地科學家、相關專業工程師和技術專家的提升及培訓。

「我們一直持續致力於產品研發及最佳解決方案的提供,尤其是在與客戶技術合作機會上之推動」 Entegris運營長Todd Edlund表示,「此次,我們有如此的榮幸將英特格化學實驗室和過濾實驗室設於同一廠區,提供全新的設備儀器和提供更專業的研究開發團隊。這將加速我們的產品開發週期以提供更完整之材料解決方案。」

除了增加了微污染控制實驗室,新的台灣技術中心保持同時也更新了其原有的濕式蝕刻、無塵室和具有更大規模及更多專業設備的CMP實驗室。現在命名為特殊化學和工程材料(SCEM)實驗室,它可進行研發和化學材料實驗協同合作,決定配方比例和試生產進行,並能在拋光研磨刷和CVD鑽石修整器提供其相關技術上的應用合作。

微污染控制實驗室將研究和評估潛在以及現存的污染問題,特別是在痕量金屬、有機污染和奈米微粒方面,開發先進過濾解決方案以優化化工製成流程的純度並積極尋求新過濾產品的開發。兩個實驗室都具有研發和應用開發的專業能力。

此次擴展讓Entegris在實驗室研究開發團隊能更即時及有效的與應用工程師之間溝通互動以獲得即時的知識共享,Entegris的應用實驗室腹地不僅擴大了5倍更重要的是在無塵室上的更新,為的就是提供英特格的客戶夥伴更有效率的完整解決方案服務,這無疑是對Entegris的客戶夥伴有相當地助益,以共創雙贏結果。

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參考資料:http://www.digitimes.com.tw/iot/article.asp?cat=130&id=0000512011_I64LY6832V11NJ0GXVDNH