半導體真空設備供應大廠日揚科技 ( 6208 ) 在此次SEMICON展出共計10個攤位，日揚與子公司明遠精密及實密科技聯手，以集團綜效角度，展現於半導體設備專業領域所累積的垂直整合性技術能量。
日揚今年盛大展出前瞻應用技術，包含各式新款真空閥門及零組件、先進製程真空抽氣系統的完整解決方案、高效去除粉塵的微氣泡洗滌器等。在半導體先進製程中，對於真空度要求更嚴苛，針對半導體大廠在製程中的各式需求及痛點，日揚規劃一系列產品及解決方案，秀出多年耕耘的研發成果。
此次參展的兩大重點產品為真空閥門與鐘擺閥。日揚展出自主研發的真空閥門，可用於先進製程，該公司光是真空部品就有多達 3600 個品項，堪稱業界第一。其中，為學術界研發的全金屬閥門，應用於同步輻射超高真空密合，完美詮釋極致的精密加工製造，是全球數一數二能夠掌握此技術的廠商。此外，日揚亦展出新型鐘擺閥，用於真空腔與分子渦輪之間，精準的控壓能力為其一大特色。半導體先進製程對於氣體分子和濃度的控制要求特別高，該產品在提升半導體製程的穩定性及良率上，非常關鍵。
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日揚今年與子公司明遠精密及實密科技聯手參展，以集團綜效角度，完整呈現於專業領域所累積的垂直整合性技術能量。圖/李其芳
日揚技術服務事業處此次備齊先進製程真空抽氣系統全系列產品，包括客製化改管、管道逆止閥、冷凝井裝置、管路鍍膜、節能加熱帶，以及 SCMS 智慧型尾氣系統平台。其中 SCMS 是日揚近年朝向工業 4.0 研發的重要平台，藉由裝置的感測器將設備運行資料即時上傳至 CIU (資訊整合單元)，透過 SCMS 軟體介面呈現設備運行狀態如水流量、氣流量、電流值、溫度值、健康狀態等，以及設備間的交互關聯性和警戒閥值。當設備運作出現異常，能快速找出根因，進而排除解決；亦能於雲端進行大數據分析，達成預測、告警，以利提前進行保養。
此外，新型微氣泡洗滌設備解決製程管道粉塵堆積問題，利用文式管原理產生負壓，作為評斷管道是否堵塞的指標。微氣泡接觸面積大，能快速捕捉 PM2.5，去除效率 ≧ 90%，溼式法先處理水溶性的特氣更可降低之後燃燒式設備的負載。
日揚多年來在真空系統技術研發下足基本功，已從設備維修及零件供應成功轉型為真空設備整體解決方案商。該公司近年也積極橫向併購整備產品線及服務，在此次 SEMICON 大展，對於集團在半導體先進製程中所扮演的關鍵角色以及提升的服務價值，做出完整的呈現。
來源鏈接：工商時報 https://ctee.com.tw/industrynews/technology/572432.html
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